醫療真空機組由一系列配套的真空輔助設備組成,如真空泵、各種管道、集成傳感器、真空計、測量儀、電子控制系統等。根據主泵的類型,按應用范圍分為低真空機組、中空泵機組、高真空機組和超高真空機組。
1)直排真空泵一般用于低真空機組,如體積往復泵、水環泵、油封機械泵、螺旋真空泵、濕式羅茨泵、噴射泵、分子篩吸附泵等。低真空機組工作壓力高,排氣量大,真空度高。
2)真空機組主要由羅茨真空泵+油封機械泵、羅茨真空+水環真空泵和雙羅茨真空泵組成。由于螺旋無油真空泵的廣泛應用,羅茨真空泵+螺桿真空泵等無油真空泵逐漸增多,適用于鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理、醫藥化工、電工焊接等需要大抽速、獲得中真空的各種真空系統。
在分子流狀態下,高真空機組的工作壓力范圍為10-2~10-6Pa,排量小,抽速大,主泵由擴散泵、分子泵、液力泵、液力泵、液力泵等組成,主要由擴散泵、分子泵、泵等組成,泵的工作壓力范圍為10-2~10-6Pa。
超高型真空機組的壓力范圍為10-6~10-10Pa,主泵的極限真空范圍為10-7~10-8Pa,保證相應的抽速在壓力范圍內,對系統組成的材料要求能承受200~450℃的高溫烘烤,漏氣率低,出氣率低。
真空裝置的測試值。
真空裝置系統是真空裝置中的一個關鍵參數,例如“真空度(負壓或增壓)”、實時監控、自動調整“流量”等數據,如完成“真空保壓”、功能控制系統,如“自動定時停機、啟動定時定量”真空抽濾,稱為真空系統。